Przewodzenie silnych prądów i blokowanie wysokich napięć przy...
Transcript of Przewodzenie silnych prądów i blokowanie wysokich napięć przy...
Łukasz Starzak, Przyrządy półprzewodnikowe mocy, studia niestacjonarne, zima 2018/19 24
Część 2
Przewodzenie silnych prądów i blokowanie wysokich napięć
przy pomocy przyrządów półprzewodnikowych
Łukasz Starzak, Przyrządy półprzewodnikowe mocy, studia niestacjonarne, zima 2018/19 25
Półprzewodniki
● Materiały, w których obecności swobodnego elektronu towarzyszy obecność dziury, tj. brak elektronu w którymś z atomów
zarówno elektrony, jak i dziury mogą przemieszczać się w materiale ruch ładunku = przepływ prądu
● Jako samoistne (niedomieszkowane) charakteryzują się konduktywnością pośrednią między dielektrykami (izolatorami) a przewodnikami
Al: koncentracja (gęstość objętościowa) elektronów N ~ 1023/cm3
Si samoistny: koncentracja elektronów i dziur ni ~ 1010/cm3
● Właściwości półprzewodnika można jednak modyfikować poprzez domieszkowanie, tj. wprowadzenie dodatkowych atomów innych pierwiastków, które wprowadzają nośniki bez pary
donory (np. fosfor) – oddają elektrony – zwiększają koncentrację elektronów akceptory (np. bor) – wiążą elektrony – zwiększają koncentrację dziur
● Materiały stosowane w elektronice mocy w produkcji masowej: krzem (Si), węglik krzemu (SiC) prace badawcze: GaAs, GaN i in.
Łukasz Starzak, Przyrządy półprzewodnikowe mocy, studia niestacjonarne, zima 2018/19 26
Złącze półprzewodnikowe w stanie równowagi
● Złącze to styk różnych warstw półprzewodnikowych zwykle złącze p-n – po obu stronach różne typy przewodnictwa (N/P) zwykle homozłącze – po obu stronach ten sam materiał (np. Si)
● Powstaje obszar zubożony – nn < ND (w N) lub pp < NA (w P) spowodowane dążeniem do wyrównania koncentracji n i p przemieszczenie nośników powoduje wytworzenie pola elektrycznego oba mechanizmy ulegają zrównoważeniu przy pewnej szerokości Wsc0 przy złączu występuje obszar, w którym atomy są pozbawione elektronów lub
dziur – tzw. ładunek przestrzenny
Łukasz Starzak, Przyrządy półprzewodnikowe mocy, studia niestacjonarne, zima 2018/19 27
Złącze półprzewodnikowe spolaryzowanew kierunku zaporowym
● Zewnętrzne pole elektryczne ma kierunek wzmacniający pole wbudowane szerszy obszar ładunku
przestrzennego wyższa bariera
energetyczna trudniejsze
przenikanie nośników
Łukasz Starzak, Przyrządy półprzewodnikowe mocy, studia niestacjonarne, zima 2018/19 28
Złącze półprzewodnikowe spolaryzowanew kierunku przewodzenia
● Zewnętrzne pole elektryczne ma kierunek osłabiający pole wbudowane węższy obszar ładunku
przestrzennego niższa bariera
energetyczna wstrzykiwanie
nośników przez barierę (e→P, h→N)
Łukasz Starzak, Przyrządy półprzewodnikowe mocy, studia niestacjonarne, zima 2018/19 29
Złącze Schotky’ego (metal-półprzewodnik)
● Zależność U-I ma charakter identyczny jak dla złącza PN
● Bariera energetyczna zależy od użytego metalu i domieszkowania półprzewodnika
● Dąży się do uzyskania takiej bariery, by napięcie progowe było niższe niż złącza PN
J. Singh, www.eecs.umich.edu/~singh
Bariera potencjału złącz Schottky’ego φs
Łukasz Starzak, Przyrządy półprzewodnikowe mocy, studia niestacjonarne, zima 2018/19 30
Obszar ładunku przestrzennego złącza przy polaryzacji zaporowej
Złącze asymetryczne – znacząco odmienne koncentracje domieszek w obszarze P i w obszarze N
Łukasz Starzak, Przyrządy półprzewodnikowe mocy, studia niestacjonarne, zima 2018/19 31
Natężenie pola elektrycznego
Warstwa N− poza obszarem ładunku przestrzennego:
Warstwa N− w obszarze ładunku przestrzennego:
Prawo Poissona Definicja potencjału elektrycznego
Łukasz Starzak, Przyrządy półprzewodnikowe mocy, studia niestacjonarne, zima 2018/19 32
Powielanie lawinowe
Elektronwygenerowany
termicznieAtom
Atom
Atom
Atom
Elektronypowielone
v = 0 v = vscat
E
Elektron znajdujący się w polu elektrycznym jest przyspieszany przez to pole:
F = me∙a = e∙E ⇒ a = eE / me
vscat = a∙tscat
Wscat = me∙vscat2 / 2
Jeżeli Wscat > Wg, to zderzenie z atomem powoduje uwolnienie kolejnego elektronu; jeżeli Wscat > 2∙Wg, to dwóch elektronów itd.
Łukasz Starzak, Przyrządy półprzewodnikowe mocy, studia niestacjonarne, zima 2018/19 33
Przebicie lawinowe
Łukasz Starzak, Przyrządy półprzewodnikowe mocy, studia niestacjonarne, zima 2018/19 34
Przekłucie struktury P+N−P – przebicie skrośne
Dziury z warstwy P są przenoszone przez pole elektryczne do warstwy P+, a więc istnieje ścieżka
przepływu prądu
Łukasz Starzak, Przyrządy półprzewodnikowe mocy, studia niestacjonarne, zima 2018/19 35
Przekłucie struktury P+N−N+
Na elektrony pole elektryczne
działa w kierunku na zewnątrz
struktury, a więc przeciwdziała przewodzeniu
prądu
Łukasz Starzak, Przyrządy półprzewodnikowe mocy, studia niestacjonarne, zima 2018/19 36
Napięcie przebicia skrośnego i napięcie przebicia lawinowego przyrządu z przekłuciem (PT)
Łukasz Starzak, Przyrządy półprzewodnikowe mocy, studia niestacjonarne, zima 2018/19 37
Wytrzymałość napięciowa
Przyrząd bez przekłucia
Przyrząd z przekłuciemo tej samej koncentracji domieszek
Przyrząd z przekłuciemo mniejszej koncentracji domieszek
Przyrząd teoretyczny o zerowej koncentracji domieszek
Łukasz Starzak, Przyrządy półprzewodnikowe mocy, studia niestacjonarne, zima 2018/19 38
Zależność wytrzymałości napięciowej od parametrów warstwy słabo domieszkowanej
Koncentracja domieszek i minimalna szerokość dla przyrządu bez przekłucia
10 100 1000100
1000
10000
bez przekłucia z przekłuciembez przekłucia z przekłuciembez przekłucia z przekłuciembez przekłucia z przekłuciem
WI / µm
Ub
r / V
ND = 3∙1014 cm−3
ND = 1∙1014 cm−3
ND = 3∙1013 cm−3
ND = 1∙1013 cm−3
1E+13 1E+14 1E+15100
1000
10000
ND / cm^-3
Ub
r / V
100 1000 1000010
100
1000
Ubr / V
WI,n
pt,m
in /
µm
Łukasz Starzak, Przyrządy półprzewodnikowe mocy, studia niestacjonarne, zima 2018/19 39
Dryf nośników ładunku w polu elektrycznym
Gęstość prądu Ruchliwość
Równowaga termodynamiczna – brak wymiany nośników z sąsiednimi warstwami
Półprzewodnik typu N Półprzewodnik typu P
Łukasz Starzak, Przyrządy półprzewodnikowe mocy, studia niestacjonarne, zima 2018/19 40
Prąd dryfowy
Warstwa N:
Konduktywność
Rezystywność
Ponieważ dla krzemu μp < μn, stosuje się raczej warstwy N niż P,
szczególnie gdy koncentracja domieszek musi być niska
Łukasz Starzak, Przyrządy półprzewodnikowe mocy, studia niestacjonarne, zima 2018/19 41
Spadek potencjału (napięcie odkładane przez przepływający prąd)
Łukasz Starzak, Przyrządy półprzewodnikowe mocy, studia niestacjonarne, zima 2018/19 42
Dyfuzja
Obojętność elektryczna
Łukasz Starzak, Przyrządy półprzewodnikowe mocy, studia niestacjonarne, zima 2018/19 43
Prąd całkowity w obecności dyfuzji
Pierwsze prawo Ficka Równania dryftu-dyfuzji
Łukasz Starzak, Przyrządy półprzewodnikowe mocy, studia niestacjonarne, zima 2018/19 44
Przewodnictwo bipolarne
Ambipolarne równanie dyfuzji
Łukasz Starzak, Przyrządy półprzewodnikowe mocy, studia niestacjonarne, zima 2018/19 45
Rozwiązanie statycznego równania dyfuzji
● Koncentracja nośników jest tym większa, im: większa gęstość prądu J dłuższy czas życia nośników mniejszościowych τ
Łukasz Starzak, Przyrządy półprzewodnikowe mocy, studia niestacjonarne, zima 2018/19 46
Modulacja konduktywności
● Składowa dryfowa prądu w warstwie N− przy przewodnictwie bipolarnym
● Podczas gdy w warstwie N− przy przewodnictwie unipolarnym
● Konduktywność jest dużo większa przy przewodnictwie bipolarnym 2 typy nośników (elektrony i dziury) wyższa koncentracja nośników (∆p ≫ ND)
● Koncentracja tym większa, im większy prąd – modulacja konduktywności bardzo korzystne, gdyż kompensuje wzrost odłożonego napięcia
towarzyszący wzrostowi prądu w ideale – całkowicie, w rzeczywistości – częściowo dodają się do tego spadki potencjału na złączach UJ, rosnące wraz z ∆p
przy czym ∆p ∝ Jdif – z rozwiązania równania dyfuzji
Łukasz Starzak, Przyrządy półprzewodnikowe mocy, studia niestacjonarne, zima 2018/19 47
Spadek potencjału
Szeroka warstwa słabo domieszkowana (WN ≫ La)
Wąska warstwa słabo domieszkowana
Łukasz Starzak, Przyrządy półprzewodnikowe mocy, studia niestacjonarne, zima 2018/19 48
Warstwa słabo domieszkowana przy przewodnictwie unipolarnym i bipolarnym
4,46 V
ND = 1014 cm−3 W
N = 100 µm τ = 1 µs
10 A/cm2: 0,064 V1 A/cm2: 0,058 V
przewodnictwo unipolarne przewodnictwo bipolarne
0,446 V
Łukasz Starzak, Przyrządy półprzewodnikowe mocy, studia niestacjonarne, zima 2018/19 49
Składniki spadku potencjału na przyrządzieunipolarnym i bipolarnym
ND = 1014 cm−3 W
N = 100 µm
unipolarny: SBD – dioda Schottky’ego MN− Si+Al φB = 0,70 V
bipolarny: PIN – dioda PIN P+N−N+ Si NA = 1020 cm−3 φ
d = 0,81 V τ = 1 µs
0 0,5 1 1,5 2 2,5 30,1
1
10
100
SBD PIN
UF / V
IF /
A
0,1 1 10 1000,01
0,1
1
10
SBD MN− SBD N− SBD UFPIN P+N− PIN N− PIN N+N−PIN UF
IF / A
U /
V
Łukasz Starzak, Przyrządy półprzewodnikowe mocy, studia niestacjonarne, zima 2018/19 50
Mechanizm przewodzenia a stany dynamiczne – przyrządy unipolarne
● Mechanizm fizyczny usunięcie nośników z
powstającego obszaru ładunku przestrzennego
▶ mała liczba nośników, gdyż słabe domieszkowanie
▶ maksymalna prędkość nośników (nasycenia), gdyż silne pole elektryczne
▶ krótki czas
maksymalnie
analogicznie napływ nośników podczas załączania
● Sprzeczność z wymaganiami wynikającymi z właściwości statycznych
wytrzymałość napięciowa wymaga dużej długości obszaru słabo domieszkowanego
● Możliwy silny wpływ sterowania stosunkowo krótki czas przelotu
nośników – czas przełączania często jest narzucony przez sterowanie
sterowanie polowe: w celu zwiększenia wytrzymałości prądowej, należy obniżyć gęstość prądu powiększając pole przekroju poprzecznego – większe pojemności pasożytnicze – dłuższe przełączanie
Łukasz Starzak, Przyrządy półprzewodnikowe mocy, studia niestacjonarne, zima 2018/19 51
Mechanizm przewodzenia a stany dynamiczne – przyrządy bipolarne
● Mechanizmy fizyczne rekombinacja – ze stałą czasową
równą czasowi życia nośników mniejszościowych τ
▶ rzędu 1 ms dla czystego Si▶ można skrócić do rzędu
100 ns przez odpowiednie operacje technologiczne
ekstrakcja prądem wstecznym – której czas trwania zależy od
▶ natężenia tego prądu ▶ liczby nośników do usunięcia
(rosnąca funkcja czasu życia τ, gęstości prądu i długości warstwy słabo domieszkowanej)
▶ nie zawsze możliwa gromadzenie podczas załączania
● Sprzeczność z wymaganiami wynikającymi z właściwości statycznych
duża obciążalność prądowa wymaga niskiego spadku potencjału – długi czas życia, oraz oznacza dużą gęstość prądu
wysoka wytrzymałość napięciowa wymaga długiego obszaru słabo domieszkowanego
duża liczba gromadzonych nośników – długi czas przełączania
● Wpływ na czas przełączania może mieć także sterowanie