Projekt: Budowa i eksploatacja aparatury

naukowo badawczej

IM GR3 sem V

Pola Gwiaździńska

Karolina Korus

Mateusz Stefański

Dawid Wilczyński

PLAN PREZENTACJI

Możliwości mikroskopu SEM

Budowa skaningowego mikroskopu

elektronowego

Zasada działania

Parametry

Preparatyka

Wyniki badań

Skaningowy mikroskop

elektronowy

Zdjęcie całego stanowiska mikroskopu SEM na Politechnice Śląskiej

MOŻLIWOŚCI MIKROSKOPU

SEM: obserwacja struktury materiałów inżynierskich,

obserwacja powierzchni przełomów,

ujawnienie uszkodzeń korozyjnych i

trybologicznych,

analiza jakościowa i ilościowa składu

chemicznego badanego obszaru,

analiza wtrąceń i wydzieleń w strukturze,

analiza dyfrakcyjna.

OGÓLNA BUDOWA

MIKROSKOPU SEMKolumna zawierająca:

urządzenia tworzące i formujące wiązkę elektronów

komorę preparatu

urządzenia rejestrujące obraz

ewentualne dodatkowe oprzyrządowanie

Zdjęcie kolumny wraz z działem elektronowym oraz detektorami

mikroskopu SEM na Politechnice Śląskiej

OGÓLNA BUDOWA MIKROSKOPU

SEM

Pozostałe układy

mikroskopu:

układ próżniowy

układ wysokiego

napięcia

układ sterowania

DZIAŁO ELEKTRONOWE

Działa elektronowe dzielimy na :

Emisję polową:

Działo z zimną emisją polową

Działa z emisją schotky’ego

Termoemisja jonowa:

Wolframowe

Działo z LaB6

DZIAŁO ELEKTRONOWE

ELEMENTY BUDOWY DZIAŁA ELEKTRONOWEGO

Katoda

Cylinder Wehnelta

Anoda

UKŁAD SOCZEWEK

Soczewki elektromagnetyczne

kondensatora

Apertura obiektywu (przesłona)

Cewki skanujące

KOMORA PREPARATU ZE

STOLIKIEM PRÓBEK

Zdjęcie komory preparatu mikroskopu SEM na Politechnice Śląskiej

Ujęcie komory z próbkami od

wewnątrz mikroskopu SEM

UKŁAD PRÓŻNIOWY

Uproszczony schemat systemu próżniowego

Schemat działania

pompy

UKŁAD STEROWANIA

Sterowanie za pomocą

komputera oraz zestawu

pokręteł

OGÓLNA ZASADA

DZIAŁANIA

OGÓLNA ZASADA

DZIAŁANIA

PARAMETRY

Mikroskopy skaningowe osiągają wartości

napięcia przyspieszającego do 50kV.

Mikroskop SUPRA 35 przy napięciu

35 kV pozwala na rozdzielczość

mikroskopu 1,2 nm.

ELEKTRONY WTÓRNE -

SE

ELEKTRONY WSTECZNIE

ROZPROSZONE - BSE

DETEKTORY

EDS

WDS

In – Lens

EBSD

PREPARATYKA

Wielkość próbek

Średnica nie większa niż 5 cm

Wysokość nie przekraczająca 2,5 cm

Sposób przygotowania próbek

Usunięcie zanieczyszczeń

Naparowanie cienkiej warstwy przewodnika

w przypadku próbek słabo przewodzących

prąd elektryczny

PREPARATYKA

Zdjęcie płuczki ultradźwiękowej znajdującej się w

laboratoriach na wydziale MT Politechniki Śląskiej

PREPARATYKA

Zdjęcia napylarki znajdującej się w laboratoriach na

wydziale MT Politechniki Śląskiej

ZDJĘCIA STRUKTUR

Nakładka stomatologiczna wraz ze zdjęciem przełomu

ZDJĘCIA STRUKTUR

Mostek dentystyczny wykonany ze stopu kobaltu

ZDJĘCIA STRUKTUR

Wiór po procesie skrawania ze stali DUPLEX

ANALIZA SPEKTROMETREM

EDS

BADANIE PUNKTOWE

SKŁADU CHEMICZNEGO

MAPA ROZKŁADU

PIERWIASTKÓW