永續管理 治理與營運 創新與服務 責任供應鏈 綠色製造 友善職場 附錄台積公司民國 105年度 企業社會責任報告書

社會參與

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民國 105年目標 民國 106年目標民國 105年績效

重大議題

空氣污染防制

空氣污染防制處理流程

乾式製程機台

酸、鹼氣體

兩段式洗滌塔

現址式空氣處理設備

監測操作條件

煙囪排放

煙囪排放

有機氣體

沸石濃縮轉輪與焚化

監測排放削減率

現址式空氣處理設備

源頭處理

中央式處理設備

終端處理

雙軌式排放監測

監控管理

濕式製程機台

廠務化學儲槽

有機製程機台

1. 2. 3.

排氣風管

監控

系統

最佳可行技術 採用最佳可行技術處理營運產生的污

染，降低環境衝擊

備援系統及雙軌管理 利用備援系統及雙軌管理確保防制設備

正常運作，避免異常事件發生

揮發性有機氣體削減率 >90%

我們的策略 台積 2020願景

台積公司的空氣污染防制設計採用「源頭分類、多段式處理」做法，利用高效能設備，以最佳可行性技

術，使排入大氣的污染物含量符合或優於政府規定。除了依國家法規設置中央式污染防制設施外，同時

更針對不同製程氣體特性增設高效率現址式空氣處理設備，先讓機台端排放的廢氣，經過現址式空氣處

理設備（Local Scrubber）進行第一階段的源頭處理，削減率可達 95%以上，之後再送到中央式處理設

備（Central Scrubber）進行第二階段的終端處理，經由二階段串聯處理後，全面提升空氣排放處理效率，

廢氣總削減率 可達 99%以上。民國 114年目標

揮發性有機氣體削減率 >90%

95.4%

削減率

90%

削減率

超越目標

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第一階段源頭處理：現址式空氣處理設備

台積公司針對不同製程氣體分類，採用電熱、燃

燒、電漿、水洗加藥、吸附、冷凝、水洗等七種不

同的現址式空氣處理設備。

第二階段終端處理：中央式處理設備

經過第一階段處理的廢氣，含低濃度無機酸鹼成分

者，再送至二段式洗滌塔進行酸鹼中和；含有揮發

性有機成分者，則送至沸石濃縮轉輪，進行濃縮、

燃燒後，排入大氣，沸石濃縮轉輪對揮發性有機氣

體平均削減率達 95.4%，遠優於法規 90% 的削減

效率之規定。

台積公司新建廠房對於無機酸鹼氣體全面採用二段

式洗滌塔，相較於一般單段洗滌塔，填充層厚度增

加一倍、比表面積增加 1.4 倍，延長廢氣滯留於防

制設備的時間，廢氣與洗滌液得以充分接觸，相較

於傳統處理方式可提高 10%污染物去除率。

優於法規的空氣污染防制措施

排放種類 法規標準 台積公司做法

酸性排氣系統

• 設備洗滌循環水槽之酸鹼值應大於 7

• 潤濕因子應大於 0.1 m2/hr

• 填充段空塔滯留時間應大於 0.5秒及填充物比表面積應大於 90 m2/ m3

• 洗滌循環水槽之酸鹼值設定於 8~11

• 潤濕因子大於 0.155 m2/hr

• 填充段空塔滯留時間大於 0.73秒及填充物比表面積大於 128 m2/ m3

鹼性排氣系統

• 設備洗滌循環水槽之酸鹼值應小於 7

• 潤濕因子應大於 0.1 m2/hr

• 填充段空塔滯留時間應大於 0.5秒及填充物比表面積應大於 90 m2/ m3

• 洗滌循環水槽之酸鹼值設定於 2~6

• 潤濕因子大於 0.155 m2/hr

• 填充段空塔滯留時間大於 0.73秒及填充物比表面積大於 128 m2/ m3

有機排氣系統 • 中央處理設備排放削減率應 >90% • 中央處理設備排放削減率 >95%

現址式空氣處理設備設施分類

電漿 +水洗式全氟碳化物

燃燒 +水洗式全氟碳化物

電熱 +水洗式燃燒性及酸鹼氣體

吸附式

特殊氣體

水消 +加藥式酸鹼性氣體

冷凝式

高沸點有機氣體

水洗 +加藥式酸鹼氣體

乾式製程 濕式製程 有機製程 廠務化學儲槽

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第三階段監控管理：雙軌式排放監測

台積公司空氣污染防制處理能力，符合台灣「半導

體製造業空氣污染物管制及排放標準」及「固定污

染源空氣污染物排放標準」相關規定，而海外廠區

的處理能力亦符合當地法規標準。為確保污染防制

設備 24 小時與 365 天的穩定運轉，所有的空污防

制設備均至少設置一套備援系統（N+1設計）。除

此之外，台積公司亦建置自動監測設施，隨時掌握

各系統廢氣處理成效，相關資訊同時回報給廠務值

班台及工安環保緊急應變中心，以雙軌獨立監控體

系運作，確保煙囪排放氣體符合規範，在預警機制

的控管及即時的應變下，民國 105年無異常事件通

報主管機關。

除了廠內密切監測外，每年亦委託認證實驗室進行

檢測，並向主管機關申報檢測結果，項目包含非

甲烷碳氫化合物（NMHC）、酸鹼氣體包括硫酸

（H2SO4）、鹽酸（HCl）、硝酸（HNO3）、氫氟

酸（HF）、磷酸（H3PO4）、氯氣（Cl2）及氨氣

（NH3），氮氧化物（NOx）及硫氧化物（SOx）等。

台積公司歷年實際檢測結果，空氣污染物排放濃度

均低於科學園區管理局及地方環保局所規定的排放

標準。

削減率監測系統

271,6441,291,662

460,9831,566,662

387,2421,648,268

458,3601,655,498

272,9561,443,218

範疇一溫室氣體排放量

101 102 103 104 105 101 102 103 104 105

台灣廠區（公噸–二氧化碳當量）

海外廠區（公噸–二氧化碳當量）

所有廠區（公噸–二氧化碳當量/八吋晶圓當量–光罩數）

0.0032 0.003 0.0029 0.0027 0.0024

（民國年）

101 102 103 104 105（民國年）

（民國年）

（民國年）

101 102 103 104 105（民國年）

101 102 103 104 105（民國年）

101 102 103 104 105（民國年） 101 102 103 104 105（民國年）

（民國年）

（民國年）

101 102 103 104 105（民國年）

101 102 103 104 105（民國年）

101 102 103 104 105（民國年）

101 102 103 104 105（民國年）101 102 103 104 105（民國年）

304,2162,738,598

326,8804,315,766

347,7965,030,647

303,0863,939,172

295,9483,211,022

範疇二溫室氣體排放量

台灣廠區（公噸–二氧化碳當量）海外廠區（公噸–二氧化碳當量）所有廠區（公噸–二氧化碳當量 / 八吋晶圓當量–光罩數）

0.0062 0.0059 0.0057 0.0061 0.0063

3285,507

4508,460

4859,358

4207,545

3726,229

單位：百萬度能源總消耗量

電力總用量 天然氣總用量

能源密集度

能源密集度（度 / 千美元–營收）能源密集度（度 / 千新台幣–營收）

341.1328.4 316.5

335.1 334.6

11.5 11.110.4 10.6 10.4

4355,072

5007,970

5058,853

4567,089

4475,782

單位：百萬度總用電量統計

台灣廠區 海外廠區

10.5

10.210.1

10.09.8

10.310.2

9.89.9

9.7

單位產品用電量及目標達成度

用電密集度–目標值用電密集度–實際值

單位：度/八吋晶圓當量– 光罩數

8,31423,413

7,76335,733

7,53439,298

7,80932,726

8,17127,763

單位：千立方公尺天然氣總用量統計

台灣廠區 海外廠區

0.061

0.058

0.053

0.056 0.055

天然氣密集度統計

單位晶圓面積天然氣用電量

單位：立方公尺/八吋晶圓當量–光罩數

3.0 1.5 1.21.82.2

單位：公斤–二氧化碳當量/ 八吋晶圓當量–光罩數含氟化物排放

99 101 103 105 119

94.992.3

95.394.0

95.593.7

95.093.5

94.993.1

單位：%

中央處理設備揮發性有機氣體

歷年排放削減率

台灣廠區 海外廠區 所有廠區

94.7 94.8 94.995.2 95.4

53.4 85.6 94.381.066.9

單位：百萬公噸水資源回收及使用效率

台灣廠區總回收水量 平均製程用水回收率

86.5% 86.9%87.6% 87.3% 87.4%

3.425.8

3.534.0

3.438.6

3.334.9

3.529.7

單位：百萬公噸自來水用量及單位產品用水量統計

台灣廠區單位晶圓光罩耗水量（公升/八吋晶圓當量–光罩數）

58.951.5

46.3 44.647.7

海外廠區

18.9 24.2 26.221.821.7

單位：百萬公噸單位廢水排放密集度統計

廢水排放總量單位晶圓光罩廢水量（公升 / 八吋晶圓當量–光罩數）

38.135.5

30.4 31.0 31.4

20,0001,200

5

100105

5,000350

1

廢水再生水質比較

TOC（ppb） 導電度（us/cm）

台積公司再生水 自來水 工廠放流水

尿素（ppb）

單位晶圓委外廢棄物產出趨勢圖

101 102 103 104 105

單位晶圓廢棄物產生實際量

0.25 0.230.28

0.34 0.35

0.59

0.67

0.49

單位：公斤 / 八吋晶圓當量–光罩數

106 109

0.360.32

0.38

10%

29%

36% 52%

單位晶圓廢棄物產生預估量（未來目標）單位晶圓廢棄物產生預估量（假設台積公司無積極減量措施）

單位晶圓委外廢棄物產出趨勢圖

101 102 103 104 105

單位晶圓廢棄物產生實際量

0.25 0.230.28

單位：公斤 / 八吋晶圓當量–光罩數

106 109

0.67

0.32

0.59

0.360.35

0.49

0.34

0.38

10%

29%

36% 52%

單位晶圓廢棄物產生預估量（未來目標）單位晶圓廢棄物產生預估量（假設台積公司無積極減量措施）

台積公司二段式洗滌塔

沸石濃縮轉輪 廠務運轉監控系統

環安部門監控系統