Wydział Informatyki, Elektroniki i Telekomunikacji Katedra Elektroniki … · 2020. 1. 8. · 13...

34
2020-01-08 1 ELEMENTY ELEKTRONICZNE AKADEMIA GÓRNICZO-HUTNICZA IM. STANISŁAWA STASZICA W KRAKOWIE Wydział Informatyki, Elektroniki i Telekomunikacji Katedra Elektroniki dr inż. Piotr Dziurdzia paw. C-3, pokój 413; tel. 617-27-02, [email protected] dr inż. Ireneusz Brzozowski paw. C-3, pokój 512; tel. 617-27-24, [email protected] PÓŁPRZEWODNIKOWE PRZYRZĄDY ŁADUNKOWE CCD – Charge-Coupled Devices E+EiT 2019 r. PD&IB 2

Transcript of Wydział Informatyki, Elektroniki i Telekomunikacji Katedra Elektroniki … · 2020. 1. 8. · 13...

  • 2020-01-08

    1

    ELEMENTY ELEKTRONICZNE

    AKADEMIA GÓRNICZO-HUTNICZA IM. STANISŁAWA STASZICA W KRAKOWIE

    Wydział Informatyki, Elektroniki i Telekomunikacji

    Katedra Elektroniki

    dr inż. Piotr Dziurdzia paw. C-3, pokój 413; tel. 617-27-02, [email protected]

    dr inż. Ireneusz Brzozowski paw. C-3, pokój 512; tel. 617-27-24, [email protected]

    PÓŁPRZEWODNIKOWE PRZYRZĄDY ŁADUNKOWE

    CCD – Charge-Coupled Devices

    E+EiT 2019 r. PD&IB 2

  • 2020-01-08

    2

    G

    półprzewodnik typu P

    B (podłoże)

    O (SiO2)

    Kondensator MOS

    E+EiT 2019 r. PD&IB Elementy elektroniczne – CCD 3

    UG >> 0

    zubożenie

    warstwa zubożona

    studnia potencjału brak inwersji

    generacja termiczna – prąd ciemny

    Czas relaksacji termicznej – czas potrzebny na wypełnienie

    obszaru zubożonego ładunkiem QI i powstanie warstwy inwersyjnej (nasycenie)

    równowaga termodynamiczna potencjał powierzchniowy:

    Fs 2F – potencjał Fermiego

    Struktura CCD

    E+EiT 2019 r. PD&IB Elementy elektroniczne – CCD 4

    G1

    półprzewodnik

    typu P

    B (podłoże)

    O (SiO2)

    G6 G2 G3 G4 G5

    S D

    Jak to działa?

  • 2020-01-08

    3

    UG3 = U1

    Struktura CCD – transport ładunku

    E+EiT 2019 r. PD&IB Elementy elektroniczne – CCD 5

    G1

    półprzewodnik

    typu P

    B (podłoże)

    O (SiO2)

    G6 G2 G3 G4 G5

    S D

    UG 1 = Uin UG2 = U1 UG 1 = 0 UG3 = U2 UG2 = 0

    UG2 U2

    U1

    t1 UG3 U2

    U1

    t1

    t2

    t2

    Uzas

    Uout

    RL

    Iout

    t3

    t3

    Struktura CCD należy do grupy:

    CTD charge transport devices

    Struktura CCD

    Struktura CCD (podział):

    • SCCD – surface charge-coupled device

    • BCCD – bulk charge-coupled device z kanałem zagrzebanym

    Sposoby wprowadzania ładunku (informacji):

    • generacja lawinowa pod bramką G1 • wstrzykiwanie nośników z obszaru dyfuzyjnego obok

    pierwszej elektrody

    • generacja nośników w skutek oświetlenia – zjawisko fotoelektryczne wewnętrzne

    E+EiT 2019 r. PD&IB Elementy elektroniczne – CCD 6

  • 2020-01-08

    4

    Struktura CCD

    Parametry:

    • maksymalna wielkość gromadzonego ładunku

    • sprawność (efektywność) transportu ładunku stosunek ładunku odebranego na wyjściu do ładunku na wej.

    E+EiT 2019 r. PD&IB Elementy elektroniczne – CCD 7

    Zjawiska:

    • skończony czas przelotu (dyfuzja termiczna )

    • rekombinacja i pułapkowanie ładunku w stanach powierzchniowych

    • istnienie barier potencjałów pomiędzy studniami

    • różne prędkości elektronów

    nD

    L

    5,2

    2

    L – odległość, miedzy bramkami Dn – wsp. dyfuzji elektronów

    Sensor optyczny CCD

    BUDOWA i DZIAŁANIE

    E+EiT 2019 r. PD&IB Elementy elektroniczne – CCD 8

    G11

    p-podłoże

    B

    O (SiO2)

    G12 G13 G21 G22 G33 G31 G32 G23 1

    2

    3

    h h h

    out

    U1

  • 2020-01-08

    5

    Sensor optyczny CCD

    E+EiT 2019 r. PD&IB Elementy elektroniczne – sensor CCS 9

    „Hydrauliczna” zasada działania

    http://www.science.ca/scientists/scientistprofile.php?pID=129&pg=1

    Sensor optyczny CMOS

    E+EiT 2019 r. PD&IB Elementy elektroniczne – sensor CMOS 10

    „Aktywny piksel”

    http://en.wikipedia.org/wiki/Active_pixel_sensor

  • 2020-01-08

    6

    Porównanie CCD i CMOS

    E+EiT 2019 r. PD&IB Elementy elektroniczne – sensor CMOS 11

    CCD CMOS

    Duży zakres dynamiki Średni zakres dynamiki

    Małe szumy Większe szumy, ale szybszy

    Duży pobór mocy Średni pobór mocy

    Średnia niezawodność Bardziej niezawodny

    (scalenie w jednym chipie)

    Małe rozmiary pikseli Większe rozmiary pikseli

    Wymaga układów zewnętrznych (odczytowych)

    Scalony w jednym chipie

    Duży współczynnik wypełnienia

    Mniejszy współczynnik wypełnienia

    Analogowy sygnał wyjściowy Cyfrowy sygnał wyjściowy

    Sensory CCD i CMOS

    E+EiT 2019 r. PD&IB Elementy elektroniczne – sensor CCD vs. CMOS 12

    http://www.digital-photography.pl/index.php?lang=pl&page=artykuly&sp1=T4CMOS_CCD

  • 2020-01-08

    7

    BEZZŁĄCZOWE ELEMENTY

    PÓŁPRZEWODNIKOWE

    warystor, termistor, fotorezystor, piezorezystor, rezonator

    piezoelektryczny, hallotron, magnetorezystor

    E+EiT 2019 r. PD&IB 13

    WARYSTOR

    Półprzewodnikowy nieliniowy rezystor o silnej zależności rezystancji od napięcia

    E+EiT 2019 r. PD&IB Elementy elektroniczne – warystor 14

    http://and.elektroda.eu/elektronika/inne/surge/

    http://www.cyfronika.com.pl/iark3p2_smd.htm

    I

    U

    węglik krzemu

    tlenki metali

    bIAU

    A – stała materiałowa b – współczynnik nieliniowości (zwykle od 0,1 do 1)

    U

    VDR – Voltage Dependent Resistor

  • 2020-01-08

    8

    WARYSTOR

    Budowa: Struktura polikrystaliczna z węgliku krzemu (SiC) lub tlenku cynku (ZnO) spiekana z domieszkami innych

    tlenków metali (Bi2O3, MnO, Sb2O3, itp.)

    E+EiT 2019 r. PD&IB Elementy elektroniczne – warystor 15

    ZnO

    Bi2O3

    Ziarnista struktura warystora odpowiada elektrycznej sieci

    kondensatorów i rezystorów oraz złącz półprzewodnikowych na

    krawędzi ziaren

    WARYSTOR

    Parametry: – max. napięcie pracy

    – napięcie charakterystyczne (przy danym prądzie)

    – max. prąd

    – max. rozpraszana moc

    – max. energia rozpraszanego impulsu (i jego parametry)

    – pojemność

    Zastosowanie: – zabezpieczenia obwodów przed przepięciami

    (zasilacze, prostowniki, rozwierane styki, linie energetyczne i transformatory, odgromniki itd.)

    – stabilizacja napięcia – filtry, przetworniki częstotliwości (wykorzystanie nieliniowości)

    E+EiT 2019 r. PD&IB Elementy elektroniczne – warystor 16

  • 2020-01-08

    9

    TERMISTOR

    Półprzewodnikowy nieliniowy rezystor o rezystancji zależnej od temperatury

    E+EiT 2019 r. PD&IB Elementy elektroniczne – termistor 17

    T

    http://sklepelektroniczny.com

    http://www.eres.alpha.pl/

    CTC PTC

    NTC

    R

    T NTC

    U

    I

    Ch-ki rezystancyjno-temperaturowe

    Ch-ka napięciowo-prądowa

    T

    B

    NTCT AeR _BT

    PTCT eAAR 21_

    A, A1, A2 – stałe wsp., B – stała materiałowa

    TERMISTOR

    Rodzaje: • NTC – (Negative Temperature Coefficient) ujemny

    współczynnik temperaturowy – wzrost temperatury powoduje zmniejszanie się rezystancji

    • PTC – (Positive Temperature Coefficient) – dodatni współczynnik temperaturowy, tak zwany – wzrost temperatury powoduje wzrost rezystancji (pozystor)

    • CTR – (Critical Temperature Resistor) – skokowa zmiana rezystancji – wzrost temperatury powyżej określonej powoduje gwałtowny wzrost rezystancji (bezpieczniki polimerowe)

    E+EiT 2019 r. PD&IB Elementy elektroniczne – termistor 18

    CTC PTC

    NTC

    R

    T

  • 2020-01-08

    10

    Jak działa termistor? powtórka

    E+EiT 2019 r. PD&IB Elementy elektroniczne – termistor 19

    kTE

    i

    g

    eATTn 223

    310105,1300 cmKni

    31mmczyli w możemy znaleźć 15 milionów swobodnych elektronów !!! i tyleż samo dziur ;))

    Jaka jest wrażliwość zmian koncentracji swobodnych elektronów

    i dziur w samoistnym krzemie w otoczeniu temperatury T=300K?

    należy obliczyć:

    222

    3

    kT

    E

    Tn

    dT

    dn

    g

    i

    i

    i

    po podstawieniu danych otrzymujemy: %3.8300 Ki

    kT

    E

    bg

    eAT 2

    TERMISTOR

    Budowa: Bryła odpowiednio dobranego i ukształtowanego

    półprzewodnika z wyprowadzeniami.

    Mieszanina sproszkowanych materiałów półprzewodnikowych (tlenki: manganu, niklu, kobaltu i miedzi) połączona odpowiednim spoiwem, sprasowana

    i spieczona w wysokiej temperaturze.

    E+EiT 2019 r. PD&IB Elementy elektroniczne – termistor 20

    Mogą być wykonane jako: pałeczki, krążki, pierścienie, cylindry, bryłki, cienkie warstwy naniesione podłoże, itd.

    A. Świt, J. Pułtorak, „Przyrządy półprzewodnikowe”, WNT, Warszawa, 1979

  • 2020-01-08

    11

    TERMISTOR

    Parametry: – rezystancja nominalna (R25) – wartość rezystancji w temp. 25

    oC

    – temperaturowy współczynnik rezystancji (TWR, T) dla CTR – temperatura krytyczna

    – dopuszczalna moc strat

    – tolerancja

    Zastosowanie: – pomiar i regulacja temperatury

    – kompensacja temperaturowa innych elementów

    – obwody opóźniające i ograniczające prądy rozruchu

    – ograniczniki natężenia prądu (CTR)

    – stabilizacja napięcia i amplitudy drgań

    E+EiT 2019 r. PD&IB Elementy elektroniczne – termistor 21

    T

    R

    RTT

    1

    FOTOREZYTOR

    Półprzewodnikowy nieliniowy rezystor o rezystancji zależnej od oświetlenia

    (natężenia promieniowania widzialnego i niewidzialnego)

    E+EiT 2019 r. PD&IB Elementy elektroniczne – fotorezystor 22

    R

    E

    Ch-ka rezystancyjno-oświetleniowa Ch-ka prądowo-napięciowa

    E

    ERRE

    00

    RE – rezystancja fotorezystora E – natężenie oświetlenia R0 – rezystancja przy natężeniu E0 – współczynnik materiałowy dla CdS = 0,5 1

    LDR – Light Dependent Resistor

    http://www.cyfronika.com.pl Pmax

    I

    U

    Umax

    E1

    E2

    E3

    E4

    E5 E1 < E2 < E3 < E4 < E5

    FIII 0I0 – prąd ciemny IF – prąd fotoelektryczny

  • 2020-01-08

    12

    FOTOREZYSTOR

    E+EiT 2019 r. PD&IB Elementy elektroniczne – fotorezystor 23

    U

    h półprzewodnik

    Przewodność:

    )( 00 pnq pn

    I0 + IF

    ilość nadmiarowych, samoistnych nośników:

    pLGpn

    GL – prędkość generacji p – czas życia nośników nadmiarowych

    wzrost przewodności:

    ))(( pnpq

    fotoprzewodnictwo

    Materiały: CdS – siarczek kadmu CdSe – selenek kadmu CdTe – tellurek kadmu PbS, PbSe, CdHgTe, InSb, PbSnTe i inne

    FOTOREZYSTOR

    Parametry: – czułość widmowa

    – rezystancja ciemna - bez oświetlenia

    – rezystancja przy określonym oświetleniu (np. 10lx, 100lx)

    – czułość max. dla długości fali

    – dopuszczalna moc strat

    – czas odpowiedzi (przełączania),

    Zastosowanie: – proste mierniki oświetlenia

    – automatyczne włączanie oświetlenia

    – detektory promieniowania kosmicznego

    E+EiT 2019 r. PD&IB Elementy elektroniczne – fotorezystor 24

  • 2020-01-08

    13

    PIEZOREZYTOR

    Półprzewodnikowy nieliniowy rezystor o rezystancji zależnej od naprężenia lub

    deformacji mechanicznej

    E+EiT 2019 r. PD&IB Elementy elektroniczne – piezorezystor 25

    tensometry czujniki mechano-elektryczne

    piezoelektryczność [gr.], zjawisko piezoelektryczne, fiz. powstawanie ładunku elektrycznego na ściankach niektórych kryształów pod

    wpływem ich ściskania lub rozciągania wzdłuż jednej z osi krystalograficznych; odkryta 1880 przez Pierre’a i Paula Curie; wykorzystywana w przyrządach pomiarowych, mikrofonach,

    gramofonach. http://encyklopedia.pwn.pl/haslo.php?id=3957064

    PIEZOREZYSTOR

    Tensometr krzemowy

    E+EiT 2019 r. PD&IB Elementy elektroniczne – piezorezystor 26

    lkR

    R

    0

    S

    lR

    Tensometr rezystancyjny

    pręt krzemowy (wym.: 0,1x0,1x510mm)

    Rl odkształcenie:

    mała czułość l S

    l

    lR

    R

    k0

    0

    R – rezystancja płytki po przyłożeniu siły, R0 – rezystancja początkowa (bez działania siły) l – długość płytki po przyłożeniu siły, l0 – początkowa długość płytki (bez działania siły

    k = 1,63,5

    k = 40300 podkładka izolacyjna

  • 2020-01-08

    14

    PIEZOREZYSTOR - TENSOMETR

    Parametry: – czułość

    – rezystancja

    – wymiary

    Zastosowanie: – tensometry półprzewodnikowe

    – piezorezystancyjne czujniki ciśnienia (w układach scalonych)

    – piezoelektryczny czujnik przyspieszenia

    – silnik piezoelektryczny (mikrosilnik)

    E+EiT 2019 r. PD&IB Elementy elektroniczne – piezorezystor 27

    REZONATOR PIEZOELEKTRYCZNY

    Płytka wycięta z monokryształu kwarcu (SiO2) po doprowadzeniu napięcia sinusoidalnego zaczyna drgać z częstotliwością rezonansową, w skutek odwrotnego

    efektu piezoelektrycznego.

    E+EiT 2019 r. PD&IB Elementy elektroniczne – rezonator piezoelektryczny 28

    2

    0

    20

    22

    1

    )(

    sk

    k

    s

    sk

    s

    k

    C

    Cs

    QssC

    Qs

    sZ

    C0

    Lk

    Ck

    rk

    Model zastępczy

    kk

    sCL

    1

    rezonans szeregowy

    k

    ksk

    r

    LQ

    dobroć rezonatora

    0

    0

    02

    11

    C

    C

    CC

    CCL

    ks

    k

    kk

    r

    rezonans równoległy

    Reaktancja XZ w funkcji częstotliwości dla bezstratnego rezonatora kwarcowego

    Rysunek zaczerpnięto z S. Kuta „Elementy i układy elektroniczne”, AGH 2000

  • 2020-01-08

    15

    PÓŁPRZEWODNIK W POLU MAGNETYCZNYM

    Wpływ pola magnetycznego na nośniki ładunku w półprzewodniku

    E+EiT 2019 r. PD&IB Elementy elektroniczne – półprzewodnik w polu magnetycznym 29

    Ux I

    PÓŁPRZEWODNIK W POLU MAGNETYCZNYM

    Wpływ pola magnetycznego na nośniki ładunku w półprzewodniku

    E+EiT 2019 r. PD&IB Elementy elektroniczne – półprzewodnik w polu magnetycznym 30

    Ux I

    B Siła Lorentz’a:

    )( BvqF

  • 2020-01-08

    16

    PÓŁPRZEWODNIK W POLU MAGNETYCZNYM

    Wpływ pola magnetycznego na nośniki ładunku w półprzewodniku

    E+EiT 2019 r. PD&IB Elementy elektroniczne – półprzewodnik w polu magnetycznym 31

    Ux I

    Ex

    BZ

    V

    Ey

    zxHy BJRE

    RH – stała Halla:

    dla pp. donorowych: dla pp. akceptorowych: n

    Hqn

    R8

    3

    p

    Hqp

    R8

    3

    HALLOTRON

    Przyrząd półprzewodnikowy, działający w oparciu o zjawisko Halla

    E+EiT 2019 r. PD&IB Elementy elektroniczne – hallotron 32

    U

    B

    Ix1

    Ix2

    Ix3

    Ch-ka oddziaływania pola magnetycznego

    Ch-ka napięciowo-prądowa wyjściowa

    zxH

    y

    yyyy

    BIc

    RU

    IRUU

    )0(

    )0(

    Ry – rezystancja obszaru roboczego RH – stała Halla c – grubość obszaru roboczego

    Uy

    Iy B1

    B2

    B3

    B1 < B2 < B3

    Ch-ka napięciowo-prądowa oddziaływania prądu sterującego

    Uy

    Ix B1

    B2

    B3 B1 < B2 < B3

    http://www.cyfronika.com.pl

  • 2020-01-08

    17

    HALLOTRON

    Parametry: – czułość

    – rezystancja wejściowa Rx – temperaturowy współczynnik rezystywności i stałej Halla

    – parametry graniczne (max. prąd, napięcie, temperatura pracy, itd.)

    Zastosowanie: – pomiar natężenia pola magnetycznego

    – różnego rodzaju czujniki ruchu

    – pośredni pomiar dużych prądów, mocy itp.

    – pomiary wielkości nieelektrycznych (kąt obrotu, przesunięcie, drgania itp.)

    E+EiT 2019 r. PD&IB Elementy elektroniczne – hallotron 33

    MAGNETOREZYSTOR - GAUSSOTRON

    Półprzewodnikowy nieliniowy rezystor o rezystancji zależnej od pola magnetycznego

    E+EiT 2019 r. PD&IB Elementy elektroniczne – gaussotron 34

    RB

    B R0

    Ch-ka rezystancyjna

    2

    0

    0

    0

    SBR

    RR

    R

    R B

    R0 – rezystancja początkowa

    S – kwadratowy współczynnik magnetorezystancji B – natężenie pola magnetycznego

    B

  • 2020-01-08

    18

    GAUSSOTRON

    Parametry: – rezystancja początkowa – współczynnik magnetorezystancji

    Zastosowanie: – podobne jak hallotrony

    E+EiT 2019 r. PD&IB Elementy elektroniczne – gaussotron 35

    UKŁADY SCALONE

    elementy elektroniczne w układach scalonych

    E+EiT 2019 r. PD&IB 36

  • 2020-01-08

    19

    UKŁAD SCALONY - DEFINICJA

    Układ scalony – układ elektroniczny wykonany jako nierozłączne połączenie elementów elektronicznych, w jednym

    cyklu technologicznym wewnątrz lub na wspólnym podłożu.

    E+EiT 2019 r. PD&IB Elementy elektroniczne – układy scalone 37

    PODZIAŁ UKŁADÓW SCALONYCH

    • Monolityczne – wykonane w „bryle” półprzewodnika

    – bipolarne

    – unipolarne

    • Hybrydowe – wykonane na wspólnym podłożu

    – cienkowarstwowe

    – grubowarstwowe

    E+EiT 2019 r. PD&IB Elementy elektroniczne – układy scalone 38

    • Analogowe – pracują z sygnałami analogowymi

    • Cyfrowe – pracują z sygnałami cyfrowymi

  • 2020-01-08

    20

    UKŁADY SCALONE CMOS bramki podstawowe - schemat

    E+EiT 2019 r. PD&IB Elementy elektroniczne – układy scalone 39

    Bramka NAND Bramka NOR

    BAY

    A B

    A

    B

    Vdd

    YA

    B

    A B

    Vdd

    Y

    BAY

    PMOSy

    NMOSy

    W tych bramkach tranzystory PMOS i NMOS pracują

    naprzemiennie. Wyjście jest podłączone do masy albo do Vdd

    NAND

    UKŁADY SCALONE CMOS bramki podstawowe – topografia

    PMOSy

    NMOSy

    E+EiT 2019 r. PD&IB Elementy elektroniczne – układy scalone 40

  • 2020-01-08

    21

    UKŁADY SCALONE CMOS bramki podstawowe – topografia

    Tranzystory NMOS w bramce NAND

    n+ n+ n+ n+

    gnd! out

    E+EiT 2019 r. PD&IB Elementy elektroniczne – układy scalone 41

    G

    S D

    G

    S D

    podłoże p

    dyfuzja n+

    polikrzem

    metal

    UKŁADY SCALONE CMOS PROJEKTOWANIE

    E+EiT 2019 r. PD&IB Elementy elektroniczne – układy scalone 42

    NMOS

    PMOS

    tranzystor - topografia

  • 2020-01-08

    22

    UKŁADY SCALONE CMOS PROJEKTOWANIE

    E+EiT 2019 r. PD&IB Elementy elektroniczne – układy scalone 43

    rezystor cewka

    kondensator

    UKŁADY SCALONE CMOS PROJEKTOWANIE

    E+EiT 2019 r. PD&IB Elementy elektroniczne – układy scalone 44

    varaktor

  • 2020-01-08

    23

    UKŁADY SCALONE CMOS PROJEKTOWANIE

    E+EiT 2019 r. PD&IB Elementy elektroniczne – układy scalone 45

    UKŁADY SCALONE CMOS PROJEKTOWANIE

    E+EiT 2019 r. PD&IB Elementy elektroniczne – układy scalone 46

  • 2020-01-08

    24

    UKŁADY SCALONE CMOS PROJEKTOWANIE

    E+EiT 2019 r. PD&IB Elementy elektroniczne – układy scalone 47

    NAJNOWSZE TECHNOLOGIE MOS

    E+EiT 2019 r. PD&IB Elementy elektroniczne – układy scalone 48

    http://spectrum.ieee.org/semiconductors/design/transistors-go-vertical

    Transistors Go Vertical IEEE SPECTRUM 2007 r.

    http://spectrum.ieee.org/semiconductors/design/transistors-go-verticalhttp://spectrum.ieee.org/semiconductors/design/transistors-go-verticalhttp://spectrum.ieee.org/semiconductors/design/transistors-go-verticalhttp://spectrum.ieee.org/semiconductors/design/transistors-go-verticalhttp://spectrum.ieee.org/semiconductors/design/transistors-go-vertical

  • 2020-01-08

    25

    Tranzystor planarny vs. 3D

    E+EiT 2019 r. PD&IB Elementy elektroniczne – układy scalone 49

    http://download.intel.com/newsroom/kits/22nm/pdfs/22nm-details_presentation.pdf

    Rok 2011

    Tranzystor FinFET

    E+EiT 2019 r. PD&IB Elementy elektroniczne – układy scalone 50

  • 2020-01-08

    26

    Tranzystor FinFET

    E+EiT 2019 r. PD&IB Elementy elektroniczne – układy scalone 51

    Tranzystor FinFET

    E+EiT 2019 r. PD&IB Elementy elektroniczne – układy scalone 52

  • 2020-01-08

    27

    Rozwój tranzystorów MOS

    E+EiT 2019 r. PD&IB Elementy elektroniczne – układy scalone 53

    Klasyczny tranzystor MOS

    E+EiT 2019 r. PD&IB Elementy elektroniczne – układy scalone 54

  • 2020-01-08

    28

    Tranzystor MOS częściowo zubożony

    E+EiT 2019 r. PD&IB Elementy elektroniczne – układy scalone 55

    Tranzystor MOS w pełni zubożony

    E+EiT 2019 r. PD&IB Elementy elektroniczne – układy scalone 56

  • 2020-01-08

    29

    3-bramkowy tranzystor MOS w pełni zubożony

    E+EiT 2019 r. PD&IB Elementy elektroniczne – układy scalone 57

    Rozwój technologii Tri-Gate

    E+EiT 2019 r. PD&IB Elementy elektroniczne – układy scalone 58

    • Tighter Fin Pitch for Improved Density

    • Taller and Thinner Fins for Increased Drive Current and Performance

    • Reduced Number of Fins for Improved Density and Lower Capacitance

    http://www.intel.com/content/dam/www/public/us/en/documents/pdf/foundry/mark-bohr-2014-idf-presentation.pdf

    Rok 2014

  • 2020-01-08

    30

    Rozwój technologii Tri-Gate

    E+EiT 2019 r. PD&IB Elementy elektroniczne – układy scalone 59

    Technologia FD-SOI firmy STMicroelectronics

    E+EiT 2019 r. PD&IB Elementy elektroniczne – układy scalone 60

    http://www2.st.com/content/st_com/en/about/innovation---technology/FD-SOI.html

  • 2020-01-08

    31

    „Bulk” CMOS a CMOS UTBB FD-SOI

    E+EiT 2019 r. PD&IB Elementy elektroniczne – układy scalone 61

    Prof. W. Kuźmicz, http://things2do.imio.pw.edu.pl/page3/FDSOI_prez.pdf

    Technologia FD-SOI firmy STMicroelectronics

    E+EiT 2019 r. PD&IB Elementy elektroniczne – układy scalone 62

    http://things2do.imio.pw.edu.pl/page3/UTBBSOI_Skotnicki_11Feb2016.pdf

  • 2020-01-08

    32

    Polaryzacja podłoża

    E+EiT 2019 r. PD&IB Elementy elektroniczne – układy scalone 63

    Prof. W. Kuźmicz, http://things2do.imio.pw.edu.pl/page3/FDSOI_prez.pdf

    TRANZYSTOR RVT

    Polaryzacja podłoża

    E+EiT 2019 r. PD&IB Elementy elektroniczne – układy scalone 64

    Prof. W. Kuźmicz, http://things2do.imio.pw.edu.pl/page3/FDSOI_prez.pdf

    TRANZYSTOR LVT (Flip Well)

  • 2020-01-08

    33

    Polaryzacja podłoża

    E+EiT 2019 r. PD&IB Elementy elektroniczne – układy scalone 65

    Prof. W. Kuźmicz, http://things2do.imio.pw.edu.pl/page3/FDSOI_prez.pdf

    TRANZYSTOR LVT (Flip Well)

    FD-SOI vs. FinFet

    E+EiT 2019 r. PD&IB Elementy elektroniczne – układy scalone 66

    Prof. W. Kuźmicz, http://things2do.imio.pw.edu.pl/page3/FDSOI_prez.pdf

  • 2020-01-08

    34

    FD-SOI vs. FinFet

    E+EiT 2019 r. PD&IB Elementy elektroniczne – układy scalone 67

    Prof. W. Kuźmicz, http://things2do.imio.pw.edu.pl/page3/FDSOI_prez.pdf