Prof. dr hab. inż. Jacek Szuber

„Innowacyjne technologie wielofunkcyjnych materiałów i struktur dla nanoelektroniki, fotoniki, spintroniki i technik sensorowych”dla nanoelektroniki, fotoniki, spintroniki i technik sensorowych”

InTechFun

Politechnika Śląska (PŚl-2)

II Spotkanie Realizatorów ProjektuWarszawa

14-15 maja 2009 r.

ZESPÓŁ REALIZUJĄCY PROJEKT

NAZWA:Politechnika Śląska: PŚl-2 Instytut Fizyki – Zakład Technologii Elektronowejod IX 2009 – Instytut Elektroniki, Wydział Automatyki, Elektroniki i Informatyki

KIEROWNIK ZESPOŁU: prof. dr hab. inż. Jacek SZUBER

WYKONAWCY:

Instytut Elektroniki Wydział Automatyki, Elektroniki i Informatyki

WYKONAWCY: - dr inż. Piotr KOŚCIELNIAK (nanotechnologia i charakteryzacja materiałów tlenkowych)- dr inż. Monika KWOKA (nanotechnologia i charakteryzacja materiałów tlenkowych)- mgr inż. Paweł TOMKIEWICZ (doktorat - recenzje) - pasywacja, charakteryzacja struktur, aplikacje- mgr inż. Natalia WACZYŃSKA (doktorantka) - nanotechnologia i charakteryzacja materiałów tlenkowych- Judyta HYNEK (magistrantka) - nanotechnologia materiałów tlenkowych (SD)- Michał SITARZ (magistrant) - profilowanie jonowe materiałów i struktur (SD)

SPECJALIZACJA:- technologia i charakteryzacja powierzchni półprzewodników III-V (GaAs, InP)- technologia i charakteryzacja nanowarstw materiałów tlenkowych


14-15 maja 2009 r.


DOŚWIADCZENIE W DZIEDZINIE PROJEKTU:

Projekty unijne:- V PRUE: Centre of Excellence in Physics and Technology of Semiconductor Interfaces and Sensors (CESIS)

G6MA-CT-2002-04042: Koordynator- VI PRUE: Network of Excellence: General Olfaction and Sensing Projects on a European Level (GOSPEL)

IST-507610: Partner

Projekty krajowe:


Projekty krajowe: MNiSW: ostatnie 4 lataSpecjalne Programy Badawcze (SPB): 3 (CESIS, GOSPEL) Granty własne: 4Granty promotorskie: 2

Współpraca z zagranicą: Ośrodki: Budapeszt, Chemnitz, Graz, Fukuoka, L’Aquila, Lyon, Sapporo, Tubingen (wspólne publikacje), Prace doktorskie: 4 Publikacje LF (ostatnie 4 lata): 22 (Surface Science, Applied Surface Science, Thin Solid Films, Vacuum)


14-15 maja 2009 r.


DOŚWIADCZENIE W DZIEDZINIE PROJEKTU:Przykład badań własnych: Własności chemiczne i elektronowe powierzchni GaAs(100) oczyszczanej wiązką atomowego wodoru: XPS, PYS, SPS



14-15 maja 2009 r.


DOŚWIADCZENIE W DZIEDZINIE PROJEKTU:Przykład badań własnych:

Własności chemiczne i elektronowe nanowarstw SnO2 (metoda XPS):



14-15 maja 2009 r.

INFRASTRUKTURA

APARATURA TECHNOLOGICZNA I POMIAROWAWielozadaniowa instalacja technologiczno-badawcza UHV

� Komora ładowania

� Komora osadzania nanowarstw (RGVO) przezroczyste tlenki przewodzące: SnO2 , In2O3

� Komora przygotowania podło Ŝy: - działo jonowe sputter (CI-10 Riber)- działo jonowe sputter (CI-10 Riber)- działo atomowego wodoru (HCS-1) - spektrometr mas (Stanford RGA) – TDS

� Komora analityczna A - dyfraktometr LEED - spektrometr AES- spektrometr PYS (SPM-2)- spektrometr SPS (CPD Besocke)

� Komora analityczna B - spektrometr XPS (SPECS, PHOIBOS) - profilowanie jonowe (IQE 12/38) - montaż


14-15 maja 2009 r.


INFRASTRUKTURA

APARATURA TECHNOLOGICZNA I POMIAROWAWielozadaniowa instalacja technologiczno-badawcza UHV


14-15 maja 2009 r.


ZADANIA B+R

LISTA ZADAŃ WSPÓŁREALIZOWANYCH PRZEZ ZESPÓŁ

- Pakiet PZ0: Zarządzanie projektemZadanie: Z0.1: Zarządzanie

- Pakiet PZ1: Nowe materiałyZadanie Z1.3: Charakteryzacja materiałów

- Pakiet PZ2: Nowe moduły technologiczne- Pakiet PZ2: Nowe moduły technologiczneZadanie Z2.7: Charakteryzacja struktur

- Pakiet PZ5: Aplikacje Zadanie Z5.2: Sensor gazów na bazie SPV (WAT?)

- Pakiet PZ6: Promocja i upowszechnianie wynikówZadanie Z6.1: Promocja i upowszechnianie wyników

- Pakiet PZ7: Inwestycje aparaturoweZadanie Z7.2: Zakup i uruchomienie działa jonowego XPS


14-15 maja 2009 r.


ZADANIA B+R

POWIĄZANIE Z INNYMI ZADANIAMI/PAKIETAMI ZADANIOWYMI

- Pakiet PZ1: Nowe materiałyZadanie Z1.3: Charakteryzacja materiałów Zadanie Z1.1: Przezroczyste tlenki półprzewodnikowe (ITE)

- Pakiet PZ2: Nowe moduły technologiczne Zadanie Z2.1: Technologia warstw PVD-MS (ITE) Zadanie Z2.7: Charakteryzacja strukturZadanie Z2.7: Charakteryzacja struktur

- Pakiet PZ5: Aplikacje Zadanie Z5.2: Sensor gazów SPV (WAT?)

- Pakiet PZ7: Inwestycje aparaturoweZadanie Z7.2: Zakup i uruchomienie działa jonowego XPS Zadanie Z1.3: Charakteryzacja materiałówZadanie Z2.7: Charakteryzacja struktur


14-15 maja 2009 r.


ZADANIA B+R

WSPÓŁPRACA Z INNYMI ZESPOŁAMI

- Pakiet PZ0: Zarządzanie projektemZadanie: Z0.1: Zarządzanie (W)

- Pakiet PZ1: Nowe materiałyZadanie Z1.3: Charakteryzacja materiałów (IFPAN, ITE, PŚl)

- Pakiet PZ2: Nowe moduły technologiczne- Pakiet PZ2: Nowe moduły technologiczneZadanie Z2.7: Charakteryzacja struktur (IFPAN, ITE, PW, PŚl)

- Pakiet PZ5: Aplikacje Zadanie Z5.2: Sensor gazów SPV (ITE, WAT)

- Pakiet PZ8: Promocja i upowszechnianie wynikówZadanie Z6.1: Promocja i upowszechnianie wyników (W)

- Pakiet PZ7: Inwestycje aparaturoweZadanie Z7.2: Zakup i uruchomienie działa jonowego XPS (IFPAN, ITE, PŚl)


14-15 maja 2009 r.


PROMOCJA PROJEKTU

INTERNET:Strona internetowa części PŚl-2 projektu na witrynie Instytutu Elektroniki Politechnice Śląskiej (IX, 2009)

PLAKAT INFORMACYJNY (w przygotowaniu)

ULOTKI INFORMACYJNE(w przygotowaniu)

KONFERENCJE: KONFERENCJE: - International Workshops on Semiconductor Surface Passivation: SSP2009, SSP2011, SSP2013

Proc.: Applied Surface Science (Elsevier, IF=1.5)

- International Workshops on Semiconductor Gas Sensors: SGS 2010, SGS2012 Proc.: Thin Solid Films (Elsevier, IF=1.8)

InTechFun - sponsor strategiczny ?

IMPREZY PROMOCYJNE W UCZELNI


14-15 maja 2009 r.


Prof. dr hab. inż. Jacek Szuber

Documents

Transcript of Prof. dr hab. inż. Jacek Szuber