FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

PRÓŻNIOMIERZE

Obecnie oferowane do sprzedaży próżniomierze umożliwiają pomiar

próżni w zakresie:

150010

20001012

Informacja zaczerpnięta z: LEYBOLD VACUUM PRODUCTS AND REFERENCE BOOK 2001/2002 LEYBOLD VACUUM GmbH Cologne

PRÓŻNIOMIERZE MECHNICZNE

p [mbar]

NISKA PRÓŻNIA

ŚREDNIA PRÓŻNIA

WYSOKA PRÓŻNIA

ULTRAWYSOKA PRÓŻNIA

37 1010 mbar

3101mbar

PRÓŻNIOMIERZE – ZAKRESY PRACY

Informacja zaczerpnięta z: LEYBOLD VACUUM PRODUCTS AND REFERENCE BOOK 2001/2002 LEYBOLD VACUUM

GmbH Cologne

PRÓŻNIOMIERZE -TYPY

1. Próżniomierze mechaniczne.

2. Próżniomierze hydrostatyczne.

3. Próżniomierze cieplno-przewodnościowe.

4. Próżniomierze jonizacyjne.

PRÓŻNIOMIERZEMECHANICZNE

PRÓŻNIOMIERZE MECHANICZNE

SPIRALNE MEMBRANOWE

SPIRALNE

p [mbar]

NISKA PRÓŻNIA

ŚREDNIA PRÓŻNIA

WYSOKA PRÓŻNIA

37 1010 mbar

3101mbar

PRÓŻNIOMIERZE MECHANICZNE SPIRALNE – ZAKRES PRACY

GmbH Cologne

PRÓŻNIOMIERZE SPIRALNE

px2< px1

px3<px2< px1

Wskazania próżniomierza zależą od wartości ciśnienia

otoczenia

Zakres mierzonych ciśnień:

(1000÷10)mbar

MEMBRANOWE

PRÓŻNIOMIERZE MECHANICZNE – MEMBRANOWE - ZAKRES PRACY

p [mbar]

NISKA PRÓŻNIA

ŚREDNIA PRÓŻNIA

WYSOKA PRÓŻNIA

37 1010 mbar

3101mbar

GmbH Cologne

PRÓŻNIOMIERZE MEMBRANOWE

MEMBRANA

px2mbar

px2< px1

Wskazania próżniomierza zależą od wartości ciśnienia otoczenia

Zakres mierzonych ciśnień: (134÷2)mbar

PRÓŻNIOMIERZE PIEZO

ELEKTRYCZNE

PRÓŻNIOMIERZE PIEZOELEKTRYCZNE - ZAKRES PRACY

p [mbar]

NISKA PRÓŻNIA

ŚREDNIA PRÓŻNIA

WYSOKA PRÓŻNIA

37 1010 mbar

3101mbar

GmbH Cologne

PRÓŻNIOMIERZE PIEZOELEKTRYCZNE - BUDOWA

Wzorowano na: LEYBOLD VACUUM PRODUCTS AND REFERENCE BOOK 2001/2002 LEYBOLD

VACUUM GmbH Cologne

GŁOWICA PRÓŻNIOMIERZA

PIEZO REZYSTORY

MEMBRANA KRZEMOWA

SZKLANE PODŁOŻE

VACUUM GmbH Cologne

GŁOWICA PRÓŻNIOMIERZA

PIEZO REZYSTORY

MEMBRANA KRZEMOWA

SZKLANE PODŁOŻE

CIŚNIENIE MIERZONE

CIŚNIENIE ODNIESIENIA

PRÓŻNIOMIERZE PIEZOELEKTRYCZNE - DZIAŁANIE

OBSZAR MEMBRANY

PIEZOREZYSTORY

PRÓŻNIA POMOCNICZA

OBSZAR MEMBRANY

PIEZOREZYSTORY

PRÓŻNIA POMOCNICZA

PRÓŻNIA MIERZONA

Naprężenia w piezorezystorach w obszarze membrany

wywołują zmiany rezystancji rezystorów w

układzie mostkowym

POJEMNOŚCIOWE

PRÓŻNIOMIERZE MEMBRANOWE POJEMNOŚCIOWE - ZAKRES PRACY

p [mbar]

NISKA PRÓŻNIA

ŚREDNIA PRÓŻNIA

WYSOKA PRÓŻNIA

37 1010 mbar

3101mbar

GmbH Cologne

PRÓŻNIOMIERZE MEMBRANOWE POJEMNOŚCIOWE - BUDOWA

GŁOWICA

ELEKTRODA

MEMBRANA

Wzorowano na materiałach zawartych w: LEYBOLD VACUUM PRODUCTS AND REFERENCE BOOK 2001/2002 LEYBOLD VACUUM GmbH Cologne

PRÓŻNIOMIERZE MEMBRANOWE POJEMNOŚCIOWE - BUDOWA

AC r 0

A – pow. elekt.d – odległość

PRÓŻNIOMIERZE MEMBRANOWE POJEMNOŚCIOWE - DZIAŁANIE

p2 > p1

C1 > C2d

AC r 0

PRÓŻNIOMIERZE MEMBRANOWE POJEMNOŚCIOWE - DZIAŁANIE

p1 > p2

C2 > C1d

AC r 0

PRÓŻNIOMIERZE HYDROSTATYCZNE

PRÓŻNIOMIERZE HYDROSTATYCZNE typ1 – ZAKRES PRACY

p [mbar]

NISKA PRÓŻNIA

ŚREDNIA PRÓŻNIA

WYSOKA PRÓŻNIA

37 1010 mbar

3101mbar

GmbH Cologne

760 Tr

500 Tr200 Tr50 Tr

pATM pATM

Rtęć

760 Tr

500 Tr200 Tr50 Tr

pATM px1

px1<pATM

760 Tr

500 Tr200 Tr50 Tr

pATM px2

px2<px1

760 Tr

500 Tr200 Tr50 Tr

pATM px2

hmmHgp

pmmHgh

mmHgph

Czułość dla rtęci 0.5 Tr

760 Tr

500 Tr200 Tr50 Tr

pATM px2

Zwiększenie czułości można osiągnąć poprzez

zamianę rtęci na olej h

COLEJ2103

Czułość dla oleju

PRÓŻNIOMIERZE HYDROSTATYCZNE typ2 – ZAKRES PRACY

p [mbar]

NISKA PRÓŻNIA

ŚREDNIA PRÓŻNIA

WYSOKA PRÓŻNIA

37 1010 mbar

3101mbar

GmbH Cologne

0 Tr5 Tr

10 Tr50 Tr

px1<pATM

Próżnia pomocnicza

p0<<px

0 Tr5 Tr

10 Tr50 Tr

px2<px1

p0<<px

0 Tr5 Tr

10 Tr50 Tr

px2<px1

p0<<px

0 Tr5 Tr

10 Tr50 Tr

PRÓŻNIOMIERZE KOMPRESYJNE

MC`LEODA

PRÓŻNIOMIERZE KOMPRESYJNE MC`LEODA – ZAKRES PRACY

p [mbar]

NISKA PRÓŻNIA

ŚREDNIA PRÓŻNIA

WYSOKA PRÓŻNIA

37 1010 mbar

3101mbar

GmbH Cologne

PRÓŻNIOMIERZE KOMPRESYJNE MC`LEODA – BUDOWA

KAPILARA POMIAROWA

ZBIORNIK O OBJĘTOŚCI V

KAPILARA PORÓWNAWCZA

RTĘĆ

PRÓŻNIOMIERZE KOMPRESYJNE MC`LEODA – BUDOWA

KAPILARA POMIAROWA

ZBIORNIK

KAPILARA PORÓWNAWCZA

RTĘĆ

DO OBSZARU PRÓŻNI

DO ZBIORNIKA Z RTĘCIĄ

PRÓŻNIOMIERZE KOMPRESYJNE MC`LEODA – ZASADA DZIAŁANIA

Rozpoczęcie pomiarów

Zbiornik pomiarowy i kapilara kompresyjna

są połączone z obszarem próżni o

ciśnieniu „px”px

pxPomiary

Pomiar rozpoczyna się od podnoszenia słupa rtęci.

W momencie gdy rtęć przekroczy poziom X-X w zbiorniku pomiarowym

zostaje „uwięziona” porcja gazu o ciśnieniu

„px”

Pomiary

W momencie, gdy rtęć przekroczy poziom Y-Y

gaz „uwięziony” w zbiorniku i kapilarze

będzie sprężany w kapilarze pomiarowej

Zakończenie pomiaru

Pomiar zostaje zakończony, gdy rtęć osiągnie określony

poziom (w kapilarze pomiarowej lub

kapilarze porównawczej)X X

Odczyt wyniku

Po zakończeniu pomiaru należy odczytać różnicę:

w wysokości położenia słupa rtęci w kapilarze

porównawczej i pomiarowej

12 hhh

PRÓŻNIOMIERZE KOMPRESYJNE MC`LEODA – TEORIA

ghhpp xK 12

ς – gęstość rtęcig – przyspieszenie

ziemskie

hhVp K

VK – objętość kapilary

1hlAVK A – pole przekroju kap.

l – wysokość kapilary

hhhlApx

ZALEŻNOŚĆ OGÓLNA

PRÓŻNIOMIERZE KOMPRESYJNE MC`LEODA – POMAR

REALIZACJA POMIARU

METODA PODZIAŁKI KWADRATOWEJ

METODA PODZIAŁKI LINIOWEJ

REALIZACJA POMIARU

Przy pomiarze dowolnego ciśnienia rtęć doprowadzana jest zawsze do

poziomu Z-Z

PRÓŻNIOMIERZE KOMPRESYJNE MC`LEODA – POMIAR

hhhlApx

hhhhApx

12 hhh

KKgVA 0/

2hKp Kx

Czułość metody zależy od wartości mierzonego ciśnienia

Przy pomiarze dowolnego ciśnienia rtęć doprowadzana jest zawsze do

poziomu „h1” w kapilarze pomiarowej

constH

hhhlApx

hhAHpx

12 hhh

gVAHKL 0/

hKp Lx

LxL Kdp

Czułość metody nie zależy od wartości mierzonego ciśnienia

PRÓŻNIOMIERZE CIEPLNO

PRZEWODNOŚCIOWE

PRÓŻNIOMIERZE CIEPLNO-PRZEWODNOŚCIOWE – ZAKRES PRACY

p [mbar]

NISKA PRÓŻNIA

ŚREDNIA PRÓŻNIA

WYSOKA PRÓŻNIA

37 1010 mbar

3101mbar

GmbH Cologne

PRÓŻNIOMIERZE CIEPLNO PRZEWODNOŚCIOWE

PRÓŻNIOMIERZE OPOROWE

PIRANIEGO

PRÓŻNIOMIERZE OPOROWE PIRANIEGO – ZAKRES PRACY

p [mbar]

NISKA PRÓŻNIA

ŚREDNIA PRÓŻNIA

WYSOKA PRÓŻNIA

37 1010 mbar

3101mbar

GmbH Cologne

PRÓŻNIOMIERZE OPOROWE PIRANIEGO – IDEA

Idea pomiaru w próżniomierzu oporowym Piraniego polega na

rejestracji zmian oporu (rezystancji) włókna (drutu) oporowego rozpiętego

w głowicy wypełnionej gazem o mierzonym ciśnieniu

PRÓŻNIOMIERZE OPOROWE PIRANIEGO – BUDOWA

Głowica próżniomierza

z włóknem oporowym w

kształcie spiralki

SZKLANA OBUDOWA GŁOWICY

WŁÓKNO OPOROWE W KSZTAŁCIE SPIRALKI

Zmiana warunków odprowadzania ciepła od włókna, na przykład w wyniku zmian ciśnienia gazu w

otoczeniu włókna powoduje zmianę temperatury drutu oporowego i zmianę

rezystancji włókna

Rejestracja zmian rezystancji włókna pomiarowego w układzie mostkowym

PRÓŻNIOMIERZE OPOROWE PIRANIEGO – DZIAŁANIE

Ciepło od włókna może być odprowadzane przez:

PROMIENIOWANIE

Ilość ciepła odprowadzana od włókna przez promieniowanie

4 / mWTTKq xRR

Tx – temperatura włókna oporowego

T0 – temperatura osłony

PRZEWODNICTWO CIEPLNE GAZU

(UNOSZENIE, KONWEKCJĘ)

PRZEWODNICTWO CIEPLNE GAZU

(UNOSZENIE, KONWEKCJĘ)

Ilość ciepła odprowadzana od włókna przez przewodnictwo cieplne gazu (konwekcję)

20 / mWpTTKq xxCC

Tx – temperatura włókna oporowegoT0 – temperatura osłonypx – ciśnienie otaczającego włókno gazu

PRZEWODNICTWO CIEPLNE

WYPROWADZEŃ

PRZEWODNICTWO CIEPLNE

WYPROWADZEŃ

Ilość ciepła odprowadzana od włókna przez doprowadzenia

2/ mWconstqC

Bilans równowagi

cieplnej

pxxCxRz qpTTKTTK

10010110-2

CIŚNIENIE p [mbar]

IIIIII

10010110-2

CIŚNIENIE p [mbar]

PROMIENIOWANIE PRZEWODNICTWO CIEPLNE

WYPROWADZEŃ

px2> px1

10010110-2

CIŚNIENIE p [mbar]

LINIOWA ZALEŻNOŚĆ OD PRZEWODNICTWA CIEPLNEGO GAZU

10010110-2

CIŚNIENIE p [mbar]

px3> px2 > px1

PROMIENIOWANIE PRZEWODNICTWO

CIEPLNE GAZU

PRÓŻNIOMIERZE CIEPLNO PRZEWODNOŚCIOWE

PRÓŻNIOMIERZE TERMO

ELEKTRYCZNE

PRÓŻNIOMIERZE TERMOELEKTRYCZNE – ZAKRES PRACY

p [mbar]

NISKA PRÓŻNIA

ŚREDNIA PRÓŻNIA

WYSOKA PRÓŻNIA

37 1010 mbar

3101mbar

GmbH Cologne

PRÓŻNIOMIERZE TERMOELEKTRYCZNE – IDEA

Idea pomiaru w próżniomierzu termoelektrycznym polega na

rejestracji zmian siły termoelektrycznej termopary

umieszczonej w głowicy wypełnionej gazem o mierzonym

ciśnieniu

PRÓŻNIOMIERZE TERMOELEKTRYCZNE – IDEA

W zależności od ciśnienia gazu w głowicy pomiarowej zmieniają się warunki przekazywania ciepła do

spoiny termopary (typ I) lub możliwości rozpraszania ciepła

(typ II)

PRÓŻNIOMIERZE TERMOELEKTRYCZNE

PRÓŻNIOMIERZ TERMO

ELEKTRYCZNY TYP I

PRÓŻNIOMIERZE TERMOELEKTRYCZNE (TYP 1) – BUDOWA

GRZEJNIK

TERMOPARA

PRÓŻNIOMIERZE TERMOELEKTRYCZNE (TYP 1) – DZIAŁANIE

GRZEJNIK

TERMOPARA

W zależności od ciśnienia gazu zmieniają się warunki

przekazywania ciepła do spoiny termopary

spx Tp ,

GRZEJNIK

TERMOPARApx1

SIŁA TERMOELEKTRYCZNA

GRZEJNIK

TERMOPARApx2

px2 > px1

UT2>UT1

PRÓŻNIOMIERZE TERMOELEKTRYCZNE

PRÓŻNIOMIERZ TERMO

ELEKTRYCZNY TYP II

PRÓŻNIOMIERZE TERMOELEKTRYCZNE (TYP 2) – BUDOWA

GRZEJNIK

TERMOPARA

GRZEJNIK

TERMOPARA

W zależności od ciśnienia gazu zmieniają się warunki

rozpraszania ciepła dostarczanego przez grzejnik

do spoiny termopary

spx Tp ,

GRZEJNIK

TERMOPARApx1

GRZEJNIK

TERMOPARApx2

px2 > px1

UT2 < UT1

PRÓŻNIOMIERZ TERMOELEKTRYCZNY (TYP 2) – CHARAKTERYSTYKA

ARGONPOWIETRZE, AZOT, TLEN WODÓR

CIŚNIENIE px [mbar]Zaczerpnięto z: A. Hałas „TECHNOLOGIA WYSOKIEJ PRÓŻNI” , PWN, Warszawa 1980

PRÓŻNIOMIERZE JONIZACYJNE

Z „GORĄCĄ” KATODĄ

JARZENIOWE

PRÓŻNIOMIERZE JONIZACYJNE Z

GORĄCĄ KATODĄ

PRÓŻNIOMIERZE JON. Z GORĄCĄ KATODĄ – ZAKRES PRACY

p [mbar]

NISKA PRÓŻNIA

ŚREDNIA PRÓŻNIA

WYSOKA PRÓŻNIA

37 1010 mbar

3101mbar

GmbH Cologne

PRÓŻNIOMIERZE JON. Z GORĄCĄ KATODĄ – BUDOWA

GŁOWICA

KOLEKTOR ELEKTRONÓW

KOLEKTOR JONÓW

ŻARZONA KATODA

+ +- -

PRÓŻNIOMIERZE JON. Z GORĄCĄ KATODĄ – DZIAŁANIE

ŻARZONA KATODA

+ +- -

Emisja elektronów

Elektrony kierują się do anody

+ +- -

Jonizacja cząstek gazu

+ +- -

Jonizacja cząstek gazu

+ +- -

ANODA+

zjonizowane cząsteczki

gazu kierują się do

kolektora + -

+ +- -

KOLEKTOR JONÓW+++

A AIKe

+ +- -

KOLEKTOR JONÓW

ANODA KOLEKTOR

ELEKTRONÓW

Podczas pracy głowicy w obwodach obu kolektorów obserwuje się przepływ prądów:

Ike – prąd kolektora elektronów

Ikj – prąd kolektora jonów

IKe – prąd kolektora elektronów

eKKe III Ike – prąd kolektora elektronówIK – prąd elektronów emitowanych z katodyIe – prąd elektronów gen. w procesach jon.

IKj – prąd kolektora jonów

xjKj III IKj – prąd kolektora jonówIj – prąd jonowy (ilość zjon. cząsteczek gazu)Ix – prąd „szumowy”

Ilość elektronów generowanych w procesach jonizacji powinna być równa ilości

powstających w tych procesach jonów gazu

W typowym zakresie mierzonych ciśnień:

xj II eK II Prąd jonowy jest znacznie

większy od prądu „szumowego”

Prąd elektronów z katody jest znacznie większy od prądu

elektronowego pojawiającego się w procesach jonizacji

W rezultacie:

jKj II KKe II Prąd kolektora jonów jest „prawie” równy prądowi

jonowemu

Prąd kolektora elektronów jest „prawie” równy prądowi

elektronów emitowanych z katody

+ -+++

KexKj ICpI

Kolektor jonówKolektor elektronów

IKe IKj

+ -+++

Kolektor jonówKolektor elektronów

IKe IKj

KexKj ICpI

Mierzone ciśnienie

1Czułość próżniomierza jonizacyjnego

PRÓŻNIOMIERZE JON. Z GORĄCĄ KATODĄ

Charakterystyka próżniomierzy:

1. Próżniomierze wymagają skalowania. Dokładne teoretyczne wyznaczenie skali próżniomierza jest niemożliwe.

2. Wskazania próżniomierza zależą od rodzaju gazu (skalowanie najczęściej dla azotu lub powietrza)

3. Dokładność pomiaru wysokich ciśnień jest duża (rzędu kilkunastu procent)

4. Pomiary ciśnień niskich są obarczone znacznym błędem (rzędu kilkuset procent)

5. Mała bezwładność wskazań

6. Stosowanie wolframowych, żarzonych katod związane jest z ryzykiem ich „przepalenia” w przypadku gdy ciśnienie w głowicy jest zbyt wysokie

PRÓŻNIOMIERZE JONIZACYJNE JARZENIOWE

PRÓŻNIOMIERZE JONIZACYJE JARZENIOWE – ZAKRES PRACY

p [mbar]

NISKA PRÓŻNIA

ŚREDNIA PRÓŻNIA

WYSOKA PRÓŻNIA

37 1010 mbar

3101mbar

GmbH Cologne

PRÓŻNIOMIERZE JON. Z ZIMNĄ KATODĄ – BUDOWA

GŁOWICAANODA

KOLEKTOR ELEKTRONÓW

KATODA KOLEKTOR

JONÓW

PRÓŻNIOMIERZE JON. Z ZIMNĄ KATODĄ – BUDOWA

GŁOWICA

ANODA KOLEKTOR

ELEKTRONÓW

KATODA KOLEKTOR

JONÓW

RZWIĘKSZENIE

CZUŁOŚCI GŁOWICY

PRÓŻNIOMIERZE JON. Z ZIMNĄ KATODĄ – DZIAŁANIE

Zainicjowanie wyładowania jarzeniowego

Jonizacja cząsteczek gazu

„Wychwytywanie” jonów gazu przez katodę

Przemieszczanie się elektronów do anody

W układzie diodowym ilość

elektronów docierających do anody jest równa

ilości jonów bombardujących

obie katody

KATODA

ANODA+

xpCI I – rejestrowany w głowicy prąd (jonowy, elektr.)C – czułość głowicypx – mierzone ciśnienie

xj III Ij – prąd jonowy lub elektronowy

Całkowity prąd rejestrowany w głowicy

Ix – prąd „szumowy”

emux III Iu – prąd upływnościowy

Prąd „szumowy”

Iem – prąd emisji polowej

Prąd „szumowy”R

Mierzone ciśnienie

I=Ij+Ix

Prąd „szumowy”R

Mierzone ciśnienie

I=Iu+Iem

ZAKRES NISKICH CIŚNIEŃ

1. Próżniomierze wymagają skalowania.

2. Wskazania w dużym stopniu zależą od składu gazu (skalowanie najczęściej wykonuje się dla azotu lub powietrza.

3. Mała bezwładność wskazań

4. Podstawowe zalety to: duża czułość, odporność na nagłe zapowietrzenie w czasie pracy.

5. Próżniomierze mogą być stosowane tam gdzie dokładność nie jest najważniejsza ale istotna jest niezawodność praca próżniomierza

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

Documents

Transcript of FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

Mirosław Cygan - przygotowanie fizyczne zespołu

2. Fizyczne podstawy mechaniki - Ileszek.jaroszewicz.com/.../2020/03/...Kinematyka.pdf · Kinematyka –działmechaniki, zajmującysięruchem ciał,bez uwzględnianiaich masy oraz

Paradoksy fizyczne

FPk 1-15 Fizyczne Podstawy Komunikacji

Epitaksja metodą wiązek molekularnych (MBE)stach/wyklad_ptwk_2011/cgm_w18.pdfEpitaksja metodą wiązek molekularnych (MBE) Plan wykładu: • idea i podstawy fizyczne MBE • realizacja

Żyroskop światłowodowy fizyczne podstawy działanialeszek.jaroszewicz.com/wp-content/uploads/2014/05/NZS6-FOG1.pdf · peryment został wykonany z Gale w roku 1925). [Post, Rev.

Fizyczne podstawy radioterapii...dożylnie, który odkłada sięw objętości tarczowej • radioterapia hadronowa Teleradioterapia • do lat 50-tych ubiegłego wieku stosowano głównie

Metody fizyczne

Fizyczne Podstawy Teledetekcji Wykład 9

Fizyczne podstawy komunikacji Franciszek Gołek (golek@ifd ... 1-15 fizyczne podstawy komunikacji.pdf · z Ziemią. Zatem może nieprzerwanie komunikować się (przyjmować sygnały

Studia pierwszego stopnia - Wydział Chemiichemia.amu.edu.pl/__data/assets/pdf_file/0004/274306/RPS-2015-20… · 4 Podstawy chemii . 30 30 15 75 150 10 * 5 Wychowanie fizyczne .

Środowisko fizyczne i społeczne · podstawy teoretyczne prowadzonych analiz i jednocześnie podsumowanie przeglądów literatury wielokrotnie aktualizowanych w toku realizacji tego

Fizyczne aspekty tomografii emisyjnej pozytonów

Eksperymenty, doświadczenia, pokazy fizyczne

Fizyczne podstawy dzia ania telefonii komórkowej · Podstawy—historia,faleEM NMT,GSM,UMTS Zdrowiepsychiczneiﬁzyczne Podstawy Historia Fale elektromagnetyczne, anteny Z których

Podstawy Konstrukcji Maszyn · 2020. 3. 18. · Podstawy Konstrukcji Maszyn 2 1. Metale. 2. Stopy metali. 3. metali i ich. a) fizyczne. b) mechaniczne. c) mechaniczne technologiczne.

Fizyczne Podstawy Teledetekcji Wykład 8

Projekt Narodowego Centrum Radioterapii …Plan prezentacji 1. Podstawy fizyczne radioterapii wiązkami jonów • Projekt radioterapii oka w IFJ • Postępy w technice radioterapii

Fascynujące zjawiska fizyczne

Efekty modułowe - phavi.umcs.pl · Moduł M1: Matematyczno-statystyczno-fizyczne podstawy gospodarki przestrzennej 01 zna podstawy algebry zbiorów, obliczania równań i nierówności,